Alle Lernmaterialien für deinen Kurs Halbleitertechnologie I - Technologie integrierter Schaltungen (HLT I)

Egal, ob Zusammenfassung, Altklausur, Karteikarten oder Mitschriften - hier findest du alles für den Studiengang Master of Science Informatik

Universität Erlangen-Nürnberg

Master of Science Informatik

Prof. Dr.

2024

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Halbleitertechnologie I - Technologie integrierter Schaltungen (HLT I) - Cheatsheet
Halbleitertechnologie I - Technologie integrierter Schaltungen (HLT I) - Cheatsheet Elektroden- und Lochmobilität in Halbleitern Definition: Maß für die Beweglichkeit von Elektronen und Löchern in einem Halbleitermaterial unter Einfluss eines elektrischen Feldes. Details: Mobilität von Elektronen (\mu_n) und Löchern (\mu_p) beeinflusst die elektrische Leitfähigkeit von Halbleitern. Unter Annahme l...

Halbleitertechnologie I - Technologie integrierter Schaltungen (HLT I) - Cheatsheet

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Halbleitertechnologie I - Technologie integrierter Schaltungen (HLT I) - Exam
Halbleitertechnologie I - Technologie integrierter Schaltungen (HLT I) - Exam Aufgabe 2) Durch die Bandstruktur und Energiebänder in Halbleitern wird das Verhalten von Elektronen im Kristallgitter beschrieben. Die elektronischen Eigenschaften und die Funktionalitäten integrierter Schaltungen basieren auf den Konzepten von Valenzband, Leitungsband und Bandlücke. Elektronen im Kristallgitter bilden ...

Halbleitertechnologie I - Technologie integrierter Schaltungen (HLT I) - Exam

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Was ist die Definition von Elektroden- und Lochmobilität in Halbleitern?

Wie berechnet man die Leitfähigkeit ( (\sigma) ) eines Halbleitermaterials?

Welche typischen Werte der Mobilität haben Elektronen und Löcher in Silizium bei Raumtemperatur?

Was versteht man unter dem Begriff Bandlücke (\texttt{E\textsubscript{g}}) in einem Halbleiter?

Wie wird Doping in Halbleitern definiert?

Was beschreibt das Fermi-Niveau (\texttt{E\textsubscript{F}}) in einem Halbleiter?

Was ist das Hauptziel von Dotierungsmechanismen bei Halbleitern?

Was wird bei einer n-Dotierung in einen Halbleiter eingebracht?

Wie beeinflusst die Dotierung die Bandstruktur eines Halbleiters?

Was ist ein pn-Übergang?

Welche Funktion hat eine Zener-Diode in der Elektronik?

Was passiert bei der Zenerspannung (\(U_Z\)) bei einer Zener-Diode?

Welche Bestandteile hat ein MOSFET?

Was steuert die Leitfähigkeit zwischen Source und Drain in einem MOSFET?

Welche Anwendungen haben MOSFETs?

Was sind Plasmatechnologien in der Halbleiterfertigung?

Welche Parameter sind entscheidend für Plasmatechnologien?

Welche wichtigen Prozesse beinhalten Plasmatechnologien?

Was sind die zwei Hauptmethoden der Epitaxie-Prozesse?

Welcher Prozess bietet präzisere Kontrolle über Schichtdicke und Zusammensetzung?

Welche Methode ermöglicht großflächige Beschichtungen und hohe Wachstumsrate?

Was ist Reaktives Ionenätzen (RIE)?

Welche Gase werden typischerweise im RIE-Prozess verwendet?

Welche Messmethoden werden zur Fehleranalyse in der Lithographie verwendet?

Weiter

Diese Konzepte musst du verstehen, um Halbleitertechnologie I - Technologie integrierter Schaltungen (HLT I) an der Universität Erlangen-Nürnberg zu meistern:

01
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Grundlagen der Halbleiterphysik

Diese Vorlesung beginnt mit den Grundlagen der Halbleiterphysik, die essenziell für das Verständnis von Halbleitertechnologien sind.

  • Elektronen- und Lochmobilität
  • Bandstruktur und Energiebänder
  • Dotierungsmechanismen und deren Auswirkungen
  • Eigenleitung und Störstellenleitung
  • Rekombinations- und Generationmechanismen
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Halbleiterbauelemente

Im Fokus stehen hier die verschiedenen Arten von Halbleiterbauelementen und ihre Funktionsweisen.

  • Dioden: pn-Übergänge, Zener-Dioden
  • Transistoren: Bipolar und Feldeffekt
  • Fotodetektoren und Solarzellen
  • MOSFETs: Aufbau und Funktion
  • Bauelemente-Charakterisierungsmethoden
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Herstellungstechnologien für integrierte Schaltungen

Hier wird der gesamte Prozess der Herstellung von integrierten Schaltungen detailliert besprochen.

  • Wafer-Produktion und -Verarbeitung
  • Oxidations- und Diffusionsprozesse
  • Plasmatechnologien und deren Anwendungen
  • Reinigungsprozesse und Qualitätskontrollen
  • Verbindungstechniken: Bonding und Packaging
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Prozesstechnologien

Dieser Abschnitt deckt die spezifischen Technologien ab, die für die Prozesse in der Halbleiterfertigung notwendig sind.

  • Epitaxie-Prozesse: MBE und CVD
  • Implantationstechniken
  • Rapid Thermal Processing (RTP)
  • Metallisierungsprozesse
  • Chemisch-mechanisches Polieren (CMP)
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Lithographie und Ätzverfahren

Zum Abschluss werden Lithographie-Techniken und Ätzverfahren eingehend behandelt.

  • Optische Lithographie und Maskenherstellung
  • Elektronenstrahl- und Ionolithographie
  • Nass- und Trockenätzverfahren
  • Reaktive Ionenätzen (RIE)
  • Ausrichtverfahren und Fehleranalyse
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Alles Wichtige zu diesem Kurs an der Universität Erlangen-Nürnberg

Halbleitertechnologie I - Technologie integrierter Schaltungen (HLT I) an Universität Erlangen-Nürnberg - Überblick

Die Vorlesung 'Halbleitertechnologie I - Technologie integrierter Schaltungen (HLT I)' an der Universität Erlangen-Nürnberg bietet Dir wertvolle Einblicke in die faszinierende Welt der Halbleitertechnologie. Als Teil des Informatikstudiums umfasst diese Lehrveranstaltung sowohl theoretische als auch praktische Elemente, die Dich fit für das Verständnis und die Anwendung moderner Halbleitertechnologien machen. Im wöchentlichen Wechsel werden Dir fundamentale theoretische Konzepte und deren praktische Umsetzung vermittelt. Übungen und Praktika ergänzen die Vorlesungen und bieten Dir die Möglichkeit, das Gelernte direkt anzuwenden und zu vertiefen. Die schriftliche Prüfung am Semesterende und benotete Aufgaben während des Semesters stellen sicher, dass Dein Wissen kontinuierlich gefestigt wird. Diese Vorlesung wird im Wintersemester angeboten.

Wichtige Informationen zur Kursorganisation

Kursleiter: Prof. Dr.

Modulstruktur: Die Vorlesung besteht aus wöchentlichen Vorlesungen und ergänzenden Übungen sowie Praktika. Es gibt separate Vorlesungsanteile für Theorie und praktischen Teile.

Studienleistungen: Am Ende der Vorlesung erfolgt eine schriftliche Prüfung. Zusätzlich gibt es benotete Aufgaben während des Semesters.

Angebotstermine: Die Vorlesung wird im Wintersemester angeboten.

Curriculum-Highlights: Grundlagen der Halbleiterphysik, Halbleiterbauelemente, Herstellungstechnologien für integrierte Schaltungen, Prozesstechnologien, Lithographie und Ätzverfahren, Materialien und deren Eigenschaften in der Halbleitertechnologie

So bereitest Du Dich optimal auf die Prüfung vor

Beginne frühzeitig mit dem Lernen, idealerweise schon zu Beginn des Semesters, um Dir die nötige theoretische Basis anzueignen.

Nutze verschiedene Ressourcen, wie Bücher, Übungsaufgaben, Karteikarten und Probeklausuren, um dein Wissen zu vertiefen.

Schließe Dich Lerngruppen an und tausche Dich mit anderen Studierenden aus, um gemeinsam Lösungsstrategien zu entwickeln.

Vergiss nicht, regelmäßige Pausen einzulegen und in diesen Zeiten komplett abzuschalten, um eine Überbelastung zu vermeiden.

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